REF · 006-ELEC04 / Electrónica

Sala blanca semiconductores.

La industria electrónica y de semiconductores impone los requisitos de pureza más extremos del mercado. La manipulación de obleas, el soplado antiestático, las cámaras inertes para el proceso de grabado o el packaging necesitan aire y nitrógeno totalmente exentos de partículas (clase ISO 14644 5 a 7) con un punto de rocío muy bajo.

Retos técnicos

Lo que hay que resolver.

  • 01Alcanzar una pureza de partículas inferior a 0,01 µm en aire comprimido y nitrógeno técnico, conforme a SEMI F e ISO 8573-1 clase 0.
  • 02Garantizar disponibilidad total del sistema — una parada no programada en una línea de grabado puede costar varios cientos de miles de euros por hora.
  • 03Producir nitrógeno in situ con pureza 99,999 % a coste total de propiedad inferior a la entrega por botellas o granel.
Caso de uso

Un ejemplo concreto.

Una fundición de semiconductores en clase ISO 6 instala un generador de nitrógeno CZ-N2-PSA-100 que produce 100 Nm³/h al 99,999 % de pureza, acoplado a un compresor CZ-SLT-75V de tornillo oil-free como fuente de aire de purga. El retorno frente a la entrega en botellas se obtiene en 16 meses. Tres etapas de filtración ISO 8573-1 clase 0 y un secador por adsorción a −70 °C garantizan las especificaciones wafer.

Tecnologías CEZIUM

Nuestra respuesta técnica.

Combinación de máquinas CEZIUM dimensionada para este proceso. Detalles técnicos en el pack distribuidor.

Generador N₂ PSA
Adsorción −70 °C
Filtración Cl. 0
Normas y certificaciones

Conformidades atestadas.

ISO 14644 Cl. 5-7ISO 8573-1 Cl. 0SEMI F

Las conformidades se verifican caso por caso según el modelo elegido y el ámbito de auditoría. Documentación completa entregada con cada máquina.

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Describa su proceso. Le proponemos la combinación de máquinas adecuada.

Respuesta de nuestro equipo técnico en 24 h laborables. Pre-estudio gratuito incluyendo dimensionamiento y estimación presupuestaria.