REF · 006-ELEC04 / Electrónica
Sala blanca semiconductores.
La industria electrónica y de semiconductores impone los requisitos de pureza más extremos del mercado. La manipulación de obleas, el soplado antiestático, las cámaras inertes para el proceso de grabado o el packaging necesitan aire y nitrógeno totalmente exentos de partículas (clase ISO 14644 5 a 7) con un punto de rocío muy bajo.
Retos técnicos
Lo que hay que resolver.
- 01Alcanzar una pureza de partículas inferior a 0,01 µm en aire comprimido y nitrógeno técnico, conforme a SEMI F e ISO 8573-1 clase 0.
- 02Garantizar disponibilidad total del sistema - una parada no programada en una línea de grabado puede costar varios cientos de miles de euros por hora.
- 03Producir nitrógeno in situ con pureza 99,999 % a coste total de propiedad inferior a la entrega por botellas o granel.
Tecnologías CEZIUM
Nuestra respuesta técnica.
Combinación de máquinas CEZIUM dimensionada para este proceso. Detalles técnicos en el pack distribuidor.
Generador N₂ PSA
Adsorción −70 °C
Filtración Cl. 0
Normas y certificaciones
Normas aplicables.
ISO 8573-1 Cl. 0TÜV Classe 0CE
Las conformidades se verifican caso por caso según el modelo elegido y el ámbito de auditoría. Documentación completa entregada con cada máquina.
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Describa su proceso. Le proponemos la combinación de máquinas adecuada.
Respuesta de nuestro equipo técnico en 24 h laborables. Pre-estudio gratuito incluyendo dimensionamiento y estimación presupuestaria.