Sala blanca semiconductores.
La industria electrónica y de semiconductores impone los requisitos de pureza más extremos del mercado. La manipulación de obleas, el soplado antiestático, las cámaras inertes para el proceso de grabado o el packaging necesitan aire y nitrógeno totalmente exentos de partículas (clase ISO 14644 5 a 7) con un punto de rocío muy bajo.
Lo que hay que resolver.
- 01Alcanzar una pureza de partículas inferior a 0,01 µm en aire comprimido y nitrógeno técnico, conforme a SEMI F e ISO 8573-1 clase 0.
- 02Garantizar disponibilidad total del sistema — una parada no programada en una línea de grabado puede costar varios cientos de miles de euros por hora.
- 03Producir nitrógeno in situ con pureza 99,999 % a coste total de propiedad inferior a la entrega por botellas o granel.
Un ejemplo concreto.
Una fundición de semiconductores en clase ISO 6 instala un generador de nitrógeno CZ-N2-PSA-100 que produce 100 Nm³/h al 99,999 % de pureza, acoplado a un compresor CZ-SLT-75V de tornillo oil-free como fuente de aire de purga. El retorno frente a la entrega en botellas se obtiene en 16 meses. Tres etapas de filtración ISO 8573-1 clase 0 y un secador por adsorción a −70 °C garantizan las especificaciones wafer.
Nuestra respuesta técnica.
Combinación de máquinas CEZIUM dimensionada para este proceso. Detalles técnicos en el pack distribuidor.
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Las conformidades se verifican caso por caso según el modelo elegido y el ámbito de auditoría. Documentación completa entregada con cada máquina.
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