REF · 006-ELEC04 / Elettronica

Camera bianca semiconduttori.

L'industria elettronica e dei semiconduttori impone i requisiti di purezza più estremi del mercato. La manipolazione di wafer, il soffiaggio antistatico, le camere inerti per il processo di incisione o packaging richiedono aria e azoto totalmente esenti da particelle (classe ISO 14644 5-7) con punto di rugiada molto basso.

Sfide tecniche

Cosa va risolto.

  • 01Raggiungere purezza di particelle inferiore a 0,01 µm su aria compressa e azoto tecnico, conforme a SEMI F e ISO 8573-1 classe 0.
  • 02Garantire disponibilità totale del sistema — un arresto non pianificato su una linea di incisione può costare diverse centinaia di migliaia di euro l'ora.
  • 03Produrre azoto in loco a purezza 99,999 % con costo totale di possesso inferiore alla consegna in bombole o sfuso.
Caso d'uso

Un esempio concreto.

Una fonderia semiconduttori in classe ISO 6 installa un generatore d'azoto CZ-N2-PSA-100 che produce 100 Nm³/h al 99,999 % di purezza, abbinato a un compressore CZ-SLT-75V a vite oil-free come fonte d'aria di spurgo. Il ROI rispetto alla consegna in bombole è ottenuto in 16 mesi. Tre stadi di filtrazione ISO 8573-1 classe 0 e un essiccatore ad adsorbimento a −70 °C garantiscono le specifiche wafer.

Tecnologie CEZIUM

La nostra risposta tecnica.

Combinazione di macchine CEZIUM dimensionata per questo processo. Dettagli tecnici nel pacchetto distributore.

Generatore N₂ PSA
Adsorbimento −70 °C
Filtrazione Cl. 0
Norme e certificazioni

Conformità attestate.

ISO 14644 Cl. 5-7ISO 8573-1 Cl. 0SEMI F

Le conformità sono verificate caso per caso secondo il modello scelto e l'ambito di audit. Documentazione completa fornita con ogni macchina.

REF · 006-XProssimo passo

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