REF · 006-ELEC04 / Elettronica
Camera bianca semiconduttori.
L'industria elettronica e dei semiconduttori impone i requisiti di purezza più estremi del mercato. La manipolazione di wafer, il soffiaggio antistatico, le camere inerti per il processo di incisione o packaging richiedono aria e azoto totalmente esenti da particelle (classe ISO 14644 5-7) con punto di rugiada molto basso.
Sfide tecniche
Cosa va risolto.
- 01Raggiungere purezza di particelle inferiore a 0,01 µm su aria compressa e azoto tecnico, conforme a SEMI F e ISO 8573-1 classe 0.
- 02Garantire disponibilità totale del sistema - un arresto non pianificato su una linea di incisione può costare diverse centinaia di migliaia di euro l'ora.
- 03Produrre azoto in loco a purezza 99,999 % con costo totale di possesso inferiore alla consegna in bombole o sfuso.
Tecnologie CEZIUM
La nostra risposta tecnica.
Combinazione di macchine CEZIUM dimensionata per questo processo. Dettagli tecnici nel pacchetto distributore.
Generatore N₂ PSA
Adsorbimento −70 °C
Filtrazione Cl. 0
Norme e certificazioni
Norme applicabili.
ISO 8573-1 Cl. 0TÜV Classe 0CE
Le conformità sono verificate caso per caso secondo il modello scelto e l'ambito di audit. Documentazione completa fornita con ogni macchina.
REF · 006-XProssimo passo
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