Salle blanche semi-conducteur.
L'industrie électronique et semi-conducteur impose les exigences de pureté les plus extrêmes du marché. La manipulation de wafers, le soufflage anti-statique, les chambres inertes pour le procédé de gravure ou le packaging nécessitent un air et un azote totalement exempts de particules (classe ISO 14644 5 à 7) avec un point de rosée extrêmement bas.
Ce qu'il faut résoudre.
- 01Atteindre une pureté de particules inférieure à 0,01 µm sur l'air comprimé et l'azote technique, conformément aux normes SEMI F et ISO 8573-1 classe 0.
- 02Garantir une disponibilité totale du système — un arrêt non planifié sur une ligne de gravure peut coûter plusieurs centaines de milliers d'euros par heure.
- 03Produire de l'azote sur site à pureté 99,999 % avec un coût total de possession inférieur à la livraison par bouteilles ou par vrac.
Un exemple concret.
Une fonderie de semi-conducteurs en classe ISO 6 installe un générateur d'azote CZ-N2-PSA-100 produisant 100 Nm³/h à 99,999 % de pureté, couplé à un compresseur CZ-SLT-75V à vis oil-free comme source d'air de balayage. Le retour d'investissement par rapport à la livraison azote en bouteilles est obtenu en 16 mois. Trois étages de filtration ISO 8573-1 classe 0 et un sécheur adsorption à −70 °C garantissent les spécifications wafer.
Notre réponse technique.
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